圖說：日本東北大學TakahitoOno教授發表的高頻線圈，就在CMOS製程上完成，讓大家十分驚豔。■文：王麗娟Janet Wang■圖：李慧臻Jane Lee2011VLSI半導體產業盛宴(六)把微機電(MEMS)成功地與LSI的CMOS製程整合，日本東北大學的研究團隊已經在八吋的晶圓上，成功完成製程異質整合，完成成本更低的RFMEMS元件。