創新助攻2奈米製程 應材三款新設備出貨

圖說:應用材料公司集團副總裁暨台灣區總裁余定陸(左二)與技術專家,分享該公司三款新設備助攻2奈米及更先進製程。

人工智慧(AI)正快速推升全球運算需求,半導體設備巨頭應用材料(Applied Materials)展現強勁營運實力,2026年第一季營收亮眼,持續投資其EPIC創新平台,預期 2026及2027年營運持續強勁,目前已有三款新產品獲晶圓代工大廠採用,助攻2奈米製程。

受惠AI資料中心帶動的先進邏輯與記憶體擴產,應材2025財年(10月底止)營收達 283.7 億美元,創下歷史新高。2026年第1季(1月底止)營收達70億美元,毛利率49.1%,創下25年來的新高。公司對未來展望充滿信心,預估第二季營收將再成長,目標76.5億美元。預期2026年半導體設備營收年增將逾20%,並持續看好2027年在2奈米與更多AI 資本支出的推進下,成長動能續強。

應用材料集團副總裁暨台灣區總裁余定陸看好市場動能,並指出全球半導體產業產值可望在2026年提前達到1兆美元,原本這個里程碑預測要到2030年才會達成。余定陸強調,持續擴大AI及資料中心部署,產業必須提升能效表現(Energy‑Efficient Performance,EEP),也就是用電要很有效率,為了達到這個目標,必須透過系統架構、軟體、邏輯、記憶體、封裝與製程的全堆疊協作與創新。

應用材料營收佳績,主要來自領先邏輯、高頻寬記憶體(HBM DRAM)及先進封裝等領域的高速成長的帶動。為了因應晶片製造在埃米尺度下日益提升的複雜度,應用材料正積極推進其設備與製程創新與商業化(EPIC)平台的發展。

「設於加州矽谷的全新 EPIC 研發中心,投資金額高達50億美元」,余定陸表示,EPIC平台的核心精神在於「高速協同創新」,目標是讓頂尖的客戶與研發夥伴能與應用材料的創新團隊緊密合作。透過該平台,晶片製造商得以更早接觸應用材料最新的研發組合,不僅大幅縮短學習週期,更能加速將下一代高價值晶片與封裝技術推進至大規模量產階段。

在農曆新年假期之前一週,應材宣布已正式與三星電子,達成首個 EPIC 合作開發協議。

圖說:應用材料公司集團副總裁暨台灣區總裁余定陸

在AI能效與3D架構(如環繞式閘極 GAA)電晶體的雙重挑戰下,應用材料推出的三項突破性材料創新系統,已成功應用於2奈米製程。

在2026年第一季的財務會議中,應材表示,2026年將推出十幾項新產品。余定陸3月5日介紹的三款新設備,分別解決了電晶體以GAA結構製造時,在通道表面處理、溝槽蝕刻精度與接點材料等三大挑戰。

第一項產品Viva主打表面平滑化及去雜質,精細程度達埃米級。關鍵在於降低電子散射、提升通道遷移率,讓電晶體在切換時速度更快。

第二項產品Sym3 Z是應材蝕刻家族的新成員,首度導入第二代脈衝電壓技術(PVT2),透過微秒級的離子控制,實現了GAA電晶體的垂直3D架構,好比是口徑很小卻很深的挖井工程,精準蝕刻出筆直側壁與平坦矩形底部的深溝槽,支援更高品質的磊晶生長。據應用材料表示,這項設備已成為2奈米製程的主力設備,全球部署製程腔體已超過250個。

第三項產品Spectral鉬原子層沉積(ALD)系統,是將連接電晶體和功能佈線之間的金屬線,直接由鎢換成鉬。透過換新材料,解除電阻急遽上升的困擾,有效提高了晶片的運算速度與能源效率。應材表示,隨著製程微縮至2奈米以下,鉬達成顯著的效益,將接點的電阻降低約15%。

應用材料強調將持續以「轉折點為核心的創新」為策略主軸,攜手產業夥伴突破技術門檻。該公司累積了超過25年的選擇性材料工程經驗,能夠一路將細到2奈米及以下的金屬接點材料,一路從鎢碳化物(Tungsten carbide)、鈷(Cobalt)填充、選擇性鎢(Selective tungsten),到如今天的選擇性鉬(Molybdenum),一路降低電阻,達到省電、快速的目標。

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