圖說:TEL深化與NVIDIA的合作,TEL將於數位轉型(DX)解決方案概念「Epsira」中,導入NVIDIA Agent Toolkit,以及開放式機器人開發平台 NVIDIA Isaac。
Tokyo Electron(TEL)持續深化與NVIDIA的合作,推動代理型AI及維護機器人解決方案的開發。TEL將於數位轉型(DX)解決方案概念「Epsira」中,導入NVIDIA Agent Toolkit(包括 NVIDIA NeMo、NVIDIA NIM、NemoClaw Blueprint),以及開放式機器人開發平台 NVIDIA Isaac。透過NVIDIA Isaac 平台,可將設計導入並與整合於 NVIDIA Omniverse 程式庫(用於模擬)的數位孿生整合。
由於半導體設備維護常需因應各種不同的工具配置,採用數位孿生技術能縮短機器人訓練時間、並提升準確度。在代理型AI方面,NVIDIA NeMo 可加速AI代理的訓練、微調與評估;NVIDIA NemoClaw 則有助於簡化部署流程,並提升AI代理運作的安全性。
TEL 的 Epsira 旨在透過提升現場作業效率、改善良率及提高設備稼動率,進一步提升客戶的生產力。本概念提供利用AI的 MTBWC(Mean Time Between Wet Cleaning)延長分析、高精度機器人維護與故障排除分析等技術,實現大幅減少設備定期維護需求。藉由此數位轉型基礎建設,客戶可充分運用數據提升生產效率,降低對個人技能的依賴,實現製程變異最小化與設備穩定性最大化,並朝向設備自主運行的目標邁進。透過與NVIDIA的緊密合作,TEL 持續努力以尖端技術與確實可靠的服務,為理想的社會發展作出貢獻。
TEL企業發展部門副總裁兼總經理松島圭一表示:「我們非常高興能與 AI 時代的全球領導者 NVIDIA 進一步深化合作,此次合作將進一步擴展 TEL 『Epsira』 的應用範圍,透過機器人維護與 AI 故障排除分析,協助客戶提升製造能力,並進一步提高生產效率。」
NVIDIA Senior Director of Robotics and Edge AI Ecosystem Amit Goel表示:「半導體製造正邁入自動化的新時代,隨著晶圓廠的生產環境日益複雜,機器人的導入將有助於提升設備稼動率、精準度及韌性。TEL透過運用 NVIDIA 的代理型AI與物理AI模型及框架,進一步推動機器人維護、AI故障排除及晶圓廠營運智慧化,持續提升整體製造效能。」
