- 撰稿:王麗娟 Janet Wang攝影:李慧臻 Jane Lee從代理、到自己投入半導體尖端製程設備研發,漢辰科技董事長黃民奇,19日在捐贈先進半導體製程設備予國研院奈米元件實驗室的儀式後,談到很多人都說,半導體尖端製程設備研發是精密機械工業,但他認為,應該稱之為「製程工業」才對!黃民奇指出,身為設備開發者,當詢問客戶:「22奈米,你需要什麼?」之後,必須能夠根據客戶講的需求,自行揣摩開發出一套設備,能夠提供所需的製程技術。『這過程中,最困難的是,你「沒有參考點」!例如說,你的Energy 為什麼要那麼大?而且還要「沒有能量污染」(Energy Contamination Free)?想一想?這誰有呢?世界上沒有!以漢辰的例子,開發過程中,想著要開發出Energy Contamination Free的離子植入機(Implanter),連物理學家都要加入,這不是機械工業呀!』,黃民奇說。他強調:「整個原創的系統架構、可以達到製程需求的特性,才是製程設備工業的重點」,漢辰所努力的領域,是「Process industry not Machinery Industry」。漢辰科技開發的離子植入機,最令產業界最跌破眼鏡的是,該設備系統的技術原創性。其「能量過濾器」(Energy Filter),確保能量純度,並做到能量零污染;另外,該設備還可以調整離子束的形狀,以追求最佳化製程品質與效能。黃民奇認為,台灣的機械工業,已經做得很好,也因此能夠支援電腦及各種電子產品的發展。但製程工業重視的是,所開發出來的設備,可以做什麼事?黃民奇表示,漢辰科技比較難得的是,在開發過程中,不是採取先模仿後改進的方式,而是迎頭趕上,以原創的技術,開發出世界的級製程設備。他期望,透過漢辰與NDL的合作,可以產生很多國際級的研究成果。圖說:NDL技術長戴寶通,推崇漢辰董事長黃民奇為製程產業做出的貢獻!曾在台灣準備發展半導體產業之初,被國家派往美國RCA取經受訓的團隊成員之一,現任NDL技術長戴寶通博士也特別推崇黃民奇董事長對於製程設備開發的貢獻。他說黃民奇這麼做,「不是只有事業,還是理想」。戴寶通指出,半導體前段設備太貴,技術太創新,唯有為了理想,才能撐得住!!
- 2010.01.26
圖說:從半導體設備代理商,到投入開發半導體設備。漢辰科技董事長黃民奇強調,很多人都說半導體設備是精密機械工業,但他認為,應該稱之為「製程工業」。■撰稿:王麗娟Janet Wang■攝影:李慧臻Jane Lee從代理、到自己投入半導體尖端製程設備研發,漢辰科技董事長黃民奇,19日在捐贈先進半導體製程設備予國研院奈米元件實驗室的儀式後,談到很多人都說,半導體尖端製程設備研發是精密機械工業,但他認為,應該稱之為「製程工業」才對!