圖說:工研院衍生公司方均科技獲准進駐南科,方均科技執行長張均豪(右)與研發經理陳泰宏,於其ParyleneCVD鍍膜設備前合影。
國科會南部科學園區管理局轄下臺南園區、高雄園區及橋頭園區2022年截至12月20日止,總計引進30家廠商,累計投資金額為新臺幣570.7905億元,園區有效核准廠商家數為272家,國科會科學園區審議會第4次會議核准投資案通過核准工研院衍生的新創公司方均科技入區投資。
方均科技申請於南科臺南園區投資設立,投資金額為新臺幣0.5億元,提供功能性奈米鍍膜服務,以及客製化奈米鍍膜化學氣相沉積設備之開發,產品主要應用於半導體及光電產業。方均科技於工研院15年來累積奈米鍍膜製程設備技術,並掌握耐高電壓與高操作溫度之Low-K先進鍍膜材料-八氟[2,2]二聚對二甲苯(Parylene-AF4),整合硬體設備、軟體程式、材料應用及製程,提供完整的技術解決方案,除可精準控制鍍膜厚度、減少製程時間外,還能達到良好均勻性及重現性,已成功切入國內大型面板廠及國內外半導體廠。