圖說：搶攻化合物半導體市場，蔚華與南方科技共同宣布，全球首創的非破壞性SiC缺陷檢測系統，左起：蔚華總經理楊燿州、蔚華董事長秦家騏、光電科技工業協進會董事長邰中和、技嘉科技董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理王嘉業。（圖／蔚華提供）
看好化合物半導體發展潛力，並解決目前業界碳化矽（SiC）基板的品質痛點，蔚華科技攜手南方科技，宣布共同推出非破壞性缺陷檢測系統，取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，不但有助提升產量、改善製程，並可降低基板損耗，以擁有100個長晶爐的基板廠為例，每年可省下新台幣2.5億元。
隨第三代半導體材料的功率元件開始被大量應用在5G基地台、低軌道衛星、電動車、手機快充等市場，全球半導體生產鏈積極布局碳化矽（SiC）供應鏈。
電動車商機爆發
特別是電動車，許多國家已制定政策目標，造成SiC晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。
與矽基板不同，化合物半導體的基板材料品質，是決定晶片良莠的關鍵。如今挑戰在於，SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下，目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。
基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率，進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。
南方：多年研發成果，郭浩中肯定
南方科技成立於2014年，擁有5D 顯微鏡及數位光學兩大核心技術，瞄準先進材料分析、生物醫學成像、微結構和透明材料檢測、數位化光學等四大應用領域。
圖說：蔚華與南方科技推出的非破壞性SiC缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部缺陷，左為目前破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，檢查過後，基板已遭到破壞，無法使用。（圖／蔚華提供）
南方總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，凝聚南方多年累積的技術能力，加上三年埋首研發，終於成功推出產品。該檢測系統採用先進非線性光學技術，對SiC基板進行全片掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。
王嘉業進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷，相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。以設有100個長晶爐的基板廠為例，一年即可省下新台幣2.5億元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協助客戶在高技術門檻的化合物半導體市場，加速製程及產量優化。
圖說：陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中，同時擔任鴻海研究院半導體研究所所長，他肯定蔚華與南方科技推出的非破壞性SiC缺陷檢測系統，有助突破目前業界在量產及製程改善的技術瓶頸。
鴻海研究院半導體研究所所長暨國立陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線性光學技術應用在化合物半導體的檢測分析，有助突破目前業界在量產及製程改善的技術瓶頸，對於產業鏈發展提供極大推力，他期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業界SiC基板檢測標準，成為產業界非線性光學技術的領航品牌，引領市場應用持續創新及突破。
蔚華：從設備代理跨足光學檢測
蔚華科技創立於1987年，總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。
楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經銷合作以來就有互相壯大的默契，成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業界應用，透過客戶的反覆驗證，進而調整產品規格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。
蔚華擬以2.94億元併購南方科技
今年9月13日，蔚華董事會通過一項重要決議，擬以兩階段，投資新台幣2.94億元併購南方科技。第一階段：將參與南方科技現金增資，每股不超過新台幣35元，以新台幣1.08億元，預計取得南方科技51%股權。第二階段：待南方科技達成業績目標後，蔚華擬以每股不超過新台幣70元，向南方原股東取得股權，總金額約1.86億元。總計兩階段蔚華將投入新台幣2.94億元。
圖說：光電科技工業協進會董事長邰中和，是促成蔚華與南方科技合作的關鍵人物。
促成兩家公司合作的關鍵人物，光電科技工業協進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家台灣本土企業透過互補雙贏的結合產生綜效，更為產業創造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統是極具指標性的技術突破，不但對全球化合物半導體業來說是可以大幅降低成本並增加產能的革命性產品，更能以蔚華與南方科技為代表讓全球看見台灣的技術領導地位，在未來蓬勃發展的化合物半導體市場扮演關鍵角色。
在邰中和的引薦下，蔚華與南方科技成功組成半導體設備國家隊，合作開發的非破壞性SiC缺陷檢測系統產品已獲國內外矚目，許多客戶紛紛寄來樣品檢測中，蔚華董事長秦家騏表示，他給團隊的目標是，今年底就敲進買單。
圖說：蔚華與南方科技組成半導體設備國家隊，合作開發的非破壞性SiC缺陷檢測系統產品已獲得國內外矚目，左起南方科技總經理王嘉業、南方科技董事長陳怡然、蔚華董事長秦家騏、蔚華總經理楊燿州。
