圖說：工研院與新創公司兆晟奈米科技，今天舉行「SuperSizer」技轉簽約儀式，共同為半導體產業，攜手打造半導體前段高階製程。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明
工研院在經濟部的支持下，24日宣布將「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」技術移轉給今年8月成立的新創公司兆晟奈米科技，共同與半導體自動檢測大廠致茂電子攜手打造半導體前段高階製程，以鷹眼級的微縮製程檢測服務造福半導體產業。
經濟部技術處簡任技正林浩鉅表示，台灣的半導體產業為全球前三大，對我國GDP的直接貢獻度約8%，而由半導體延伸出去的廣義電子產業更達到GDP 30%以上。無疑地，半導體是台灣必須持續穩固的硬實力，105年技術處以特殊具時效性計畫，支持「SuperSizer」建置試量產能力、完成設備安全驗證、進行新創事業籌備。今天的研發成果，就是藉由科專計畫補足產業化最後一哩路，也是科技專案產業化成果的典範。
工研院院長劉仲明表示，今天的簽約除了展現工研院的前瞻檢測技術的優勢，也是彰顯工研院落實產業化之創新育成實績，工研院最近才從全球百大科技研發獎中抱回九項大獎，這些得獎的技術除了給予團隊高度的肯定外，最重要的是要落實產業化的研發成果。工研院最重要的指標是帶動產業發展，今天移轉的SuperSizer檢測技術亦曾在2015年入圍R&D 100 Awards，給技術團隊很大的鼓舞，並思考如何與半導體產業連結，並說服領導廠商採用，落實產業化。致茂電子是國內卓越中堅企業，也是唯一擁有量測與自動化能量的儀器大廠，技術跨足電動車、半導體等領域；工研院將這項前瞻技術技轉新創「兆晟奈米科技公司」，期許該公司發揚光大，成為世界級頂尖的公司。
兆晟董事長黃欽明表示，兆晟的「新世代溶液奈米粒子監測系統」是非常創新的技術，與致茂電子共同切入半導體前段製程檢測，並已獲准進入新竹科學園區，資本額將從二千萬元增至二億元。目前半導體製程已推進至七奈米、三奈米，而良率更是先進製程的主戰場，如果可以有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制，對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。如果能幫助半導體製程良率提升一％，獲利將可提升八％，成果驚人。事實上，奈米粒子檢測潛力無窮，除了半導體外，包括生醫、製藥都是可以應用的範圍，兆晟做為致茂電子的一份子，其核心符合世界級產品的定義：精準、可靠、獨特，以此進軍國際市場，極有可能成為另一個台灣之光，對台灣經濟有重大貢獻。
工研院量測中心主任林增耀表示，今天是抱著嫁女兒的心情來參加記者會，這對量測中心來說，是實現偉大夢想的開始。根據研究機構Tractica預估，AI驅動軟硬體營收從2015年的8億成長到2025年上看約1740億美元，年複合成長率達56%。伴隨著AI世代的來臨，帶動智慧機器人、智慧製造、智慧物聯以及無人駕駛等高階晶片生產需求大增，都更加速半導體產業持續投入10奈米以下的製程發展。而由工研院研發之SuperSizer技術，檢測技術明察秋毫，不僅可以連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度，可量測的粒子範圍囊括5-1,000奈米，遠優於業界約20奈米的監測水準。根據以此估算，若半導體製程可減少20奈米以下的微粒汙染，每提升0.1%良率，預估可增加淨利600萬美元；此一創新研發技術，也因傲人的產業效益而備受國際矚目。
兆晟奈米科技還規畫將SuperSizer技術擴大應用，除了提供半導體產業之化學原料供應商的檢測服務以外，同時加速研發氣膠粒子監測，將檢測服務從半導體跨界至奈米製藥需求、空氣品質和環境品質監測。
