Wa-Pepple產業人才庫–葉達勳

圖說:


葉達勳 ( Yeh Ta-Hsun) 博士

現任:

瑞昱半導體研發中心 元件工程總監

負責先進製程晶片設計平台的開發與建立

學經歷:

中央大學電機工程學系

交通大學 資訊電機學院 博士學位

具固態元件物理, 半導體製程, 類比/射頻IC設計技術相關經驗

曾任職於台積電研發工程部門

負責台積電混合訊號/射頻製程與元件開發

經驗分享:

1. 良率降低的兩大類型:功能性的良率漏失(functional yield loss),以及參數的良率漏失(parametric yield loss)。

2. 矽製程越精細,製造時要兼顧的課題越多,2004年中以前,製程來到130nm2005年初為90nm2006年初為65nm,2007年中為45nm

3. 0.13微米以後,銅製程CMP、黃光微影(Photolithography),以及可製造性設計(DFM)成為重大課題。

4. 台積電林本堅博士發明193奈米加浸潤式(immersion)技術,使得顯影圖像(developed pattern)可以更小,延長昂貴的黃光機台的實用壽命。

5. 光學近接修邊襯光罩(OPC)的演算法是黃光製程重要一環,也是各家晶圓廠的不傳之秘。

6. 良率 (yield ), 晶片尺寸(chip area)及速度(speed)之間的最佳化,是DFM的精神。

7. DFM的完整度,目前以Cadence最完善。因為DFM一定要與Foundry合作。舉例,先進製程 (55nm, 45nm 以下) Virtual CMP方面,Cadence有解決方案,Synopsys亦在研發階段。

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