圖說:天虹「先進製程實驗室」開幕,深化與台積電先進製程技術合作。台積電研發副總經理章勳明博士(左六)、天虹科技創辦人羅偉瑞(左四)、董事長黃見駱(右三)及執行長易錦良(左五)率領核心研發團隊共同見證。
聚焦三大前瞻半導體技術、實踐綠色供應鏈本土化,台灣半導體前段晶圓製造設備商天虹科技(Skytech)與台積電(TSMC)9月1日隆重舉行「先進製程實驗室」開幕啟用儀式。這個實驗室的啟用,不僅彰顯了台積電長期實踐 ESG(環境、社會、公司治理)永續精神、扶植並支持台灣本土半導體設備產業發展的決心,更代表臺灣本土設備業者針對全球最先進的半導體製程,已具備高品質的技術研發與驗證能力。
台積電研發副總經理章勳明博士出席了天虹「先進製程實驗室」開幕儀式,與天虹科技創辦人羅偉瑞、董事長黃見駱及執行長易錦良及核心研發團隊共同見證重要時刻,並對實驗室寄予厚望,期盼透過實驗室加速推進全球下一世代晶片技術。
作為前瞻技術的孵化基地,天虹「先進製程實驗室」將針對三大核心研究領域,進行深入研究與協同開發:
- 先進製程鍍膜設備(Advanced Thin Film Deposition Equipment):優化本土自主研發設備,以因應嚴苛的次世代晶圓製程挑戰。
- 膜質改善技術(Film Property Improvement):透過創新製程調整,提升薄膜的均勻度、填洞能力、電性特性與物理特性,進而優化晶圓性能與良率。
- 前驅物篩選與驗證(Precursor Screening & Verification):針對新世代特殊化學氣體與新材料進行高效篩選,在研發初期即確保材料的化學穩定性與綠色環保標準。
天虹科技成立於 2002 年,專注於物理氣相沉積(PVD)、原子層沉積(ALD)等高階薄膜設備的研發與製造,並提供晶圓設備精密零組件在地化的服務,如今天虹已是台灣半導體前段晶圓製造設備的領導廠商,成為半導體產業鏈自主化不可或缺的戰略夥伴,並於今(2026)年獲「國家品質獎」肯定。
天虹科技執行長易錦良表示,這座先進實驗室的啟用,是天虹的重要里程碑。非常感謝台積電多年來對本土廠商的信任與支持。天虹過去在薄膜領域累積了深厚技術底蘊,這座實驗室證明了,台灣本土設備業不再只是追隨者,而是有能力成為創新者,與世界最強的晶圓代工龍頭站在最前線,同步創新,進行先進製程的研發服務,共同為全球客戶創造無可取代的科技價值。
展望未來,易錦良表示,天虹科技將持續加大在台的研發投資,與本地的供應鏈夥伴發揮綜效,透過與台積電的深化合作,將逐步實踐尖端設備國產化的願景。
