全球晶片微影系統大廠艾司摩爾（ASML）及專注開發先進半導體製程設備圖像驗證系統的漢民微測科技（漢微科, HMI）16日共同宣布，雙方已簽署正式股份轉換契約， ASML將以現金新臺幣1,000億元（約27.5億歐元）收購漢微科全部流通在外股份，支付漢微科普通股股東每股新台幣1,410元之股份轉換對價。
ASML和漢微科均在各自領域居龍頭地位，針對提升最先進製程生產良率的解決方案，雙方已經合作多年。促成本次交易的動力，包括兩家公司進一步技術整合、豐富產品線，以及加速產品開發速度。
ASML總裁暨執行長Peter Wennink表示，「我們已經合作近兩年，在合作過程中，我們充分瞭解雙方技術之優勢，並發現若兩家公司能 更進一步整合爲一，將可為客戶提供更完整的製程控制方案，並能以更快的速度推出功能更 強大的產品。」
Peter Wennink強調，漢微 科多年來專注於高解析度及電壓反差成像電子束產品及應用之開發，其「微影曝光系統」「運算微影」及「量測」等三項關鍵技術解決方案將使得ASML的微影技術功力大增。
此外，漢微科於電子束檢測極紫外光（EUV）應用於辨識光罩缺陷具有領導地位。此技術將能支援ASML極紫外光微影系統平台效能的提升，並將該平台用於2018年開始量產的新一代半導體製程。
漢微科的執行長招允佳表示，「這次的股份轉換案，將加速兩間公司的技術發展進程，因此對於我們的客戶、員工、供應商和投資人來説，都是好消息。半導體產業向10奈米以下 製程的推進及高階記憶體的製造，皆需技術創新，現在我們可以透過提供漢微科及ASML的整合技術，使客戶取得致勝關鍵，未來我們計劃在臺灣繼續投資並擴大漢微科的業務。」
未來半導體製程將朝更高密度、更高解析度的方向邁進，因此需要更精密的製程控制技術， 此客戶需求將推動合併後的公司持續開發更高階且更快速的電子束系統。透過雙方的合作， ASML和漢微科的結合預計將能在此快速成長的市場佔有舉足輕重的地位。
ASML在全球 16 個國家設有 70 個據點，總部位於荷蘭維荷芬，全球員工超過 15,000 人。漢微科在台灣設有兩個據點，員工350人。股份轉換預計將於2016年第四季度完成。
