薄到透光　研磨拋光迎接新商機

圖說：創技工業(SPEEDFAM)副理鄧立夫（左）與產業人物主筆王麗娟

研磨拋光是3D IC、感測器及LCD顯示器的關鍵製程。1979年成立的創技工業(SPEEDFAM)，持續四十年開發研磨拋光技術。跟著主筆王麗娟，來到2019 Semicon秀採訪該公司副理鄧立夫，看見薄到15微米的半透光晶圓，以及60微米的藍寶石。

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