追思施敏院士(2)半導體聖經第四版的背後故事

圖說:2022年7月,疫情稍緩之際,施敏院士特別自美返台,在陽明交大舉行享譽全球的半導體元件物理學《Physics of Semiconductor Devices》第四版的新書發表會。

施敏院士(Dr. Simon Sze)(1936年3月21日~2023年11月6日)的愛徒,國立陽明交大電機系教授李義明(Dr. Yiming Li)與施敏院士花了五年時間,一起完成被全球譽為半導體聖經的《Physics of Semiconductor Devices》第四版。李義明教授特別於追思施敏院士的研討會中分享「半導體元件物理學第四版的背後故事」。

2016年暑假,李義明教授正在日本仙台,指導東北大學材料科學高等研究所(WPI AIMR)的學生。有一天,他接到施敏院士從美國打來電話,邀他一起撰寫《Physics of Semiconductor Devices》(半導體元件物理學)第四版。

聽到自己的恩師提出這樣的邀請,李義明有點驚訝,還沒等他回過神來,施敏院士隨即告訴他說,「你考慮一下,我天亮再打給你。」隔天,施敏院士又給李義明打了第二通電話。李義明這回接起電話,二話不說,就回答老師「沒問題!」

「施老師說,Good!於是我們就此展開將近五年的寫作歷程。」李義明記得,那是2016年9月份,學校快開學了。很快地,施敏院士和李義明,以及當年第三版的作者之一伍國珏(Kwok K. Ng),於2016年底,一起跟美國出版社WILEY簽好出版合約。

自2017年到2019年,李義明大量蒐集文件,加上施敏院士給了寫書的建議、看法與限制,包括全書篇幅限於900頁以內等,開始構思並撰稿。

2020年春天,在施敏院士與李義明的努力下,《Physics of Semiconductor Devices》第四版新書終於定稿,李義明將完成排版的定稿交給出版社,但受到Covid-19 疫情影響,光是負責的編輯就換過三任,因此新書直到2021年終於出版。

圖說:這本半導體元件物理學《Physics of Semiconductor Devices》第四版新書,是國立陽明交大創建以來,第一本外文書。

2022年7月,交大出版社在顧鴻壽教授伉儷協助翻譯下,出版了《半導體元件物理學》第四版中文版,此時疫情稍緩,於是施敏院士特別自美國返台,在陽明交大校長林奇宏主持下,為這本「陽明交大創建以來的第一本外文書」,舉辦了新書發表會。

《Physics of Semiconductor Devices》第四版新增了許多當代重要的半導體元件,此外特別單獨設立「浮閘記憶體」專章,並在每個章節後面增加了習題,同時撰寫了詳細的解答,可說是一部廣度與實用性兼具備的教科書。 李義明表示,第四版總計修改與更新超過25萬字,根據施敏院士的估計,大約是50%的內容。

第四版書中以全新的第七章,介紹浮閘記憶體效應、基本概念與結構,以及衍生的應用。特別是如今AI人工智慧的應用,影響深遠。此外,書中也首次將施敏院士與同事姜大元博士「發現浮閘記憶體效應」背後的故事,刊出於附錄L。 李義明強調,浮閘記憶體是快閃記憶體的核心元件,第七章的內容,特別感謝旺宏電子及盧志遠總經理的熱心協助、討論與提供最新的技術資料。

李義明表示,2007年《Physics of Semiconductor Devices》第三版發行以來,全球發表的半導體元件相關論文超過百萬篇。「我們從150 萬篇論文篩選出七、八千篇,再從中挑出1,500篇, 分散在第四版新書中,全書十四章,平均每章有超過100篇新的參考文獻。」

圖說:2022年7月,國立陽明交通大學(NYCU)盛大舉辦半導體元件物理學《Physics of Semiconductor Devices》第四版新書發表會,施敏院士親自將新書贈送給校長林奇宏(右二),右一為副校長唐震寰,左一為共同作者李義明教授。

除了以全新的第七章介紹「浮閘記憶體效應」外,施敏與姜大元1967年發現「浮閘記憶體效應」的故事,也首度記載於書中的「附錄 L」。

當年,施敏與姜大元都是美國貝爾實驗室(Bell Labs)半導體元件部門的技術人員,他們的任務是研究先進電晶體,並開發新的元件概念。為了突破當時用於大型電腦的磁心記憶體(magnetic core memory, MCM)體積龐大、高耗能、存取時間長等缺點,兩人就積極探討如何使用半導體技術,來開發非揮發性記憶體元件。

一番往返實驗及討論後,兩人最後將一片金屬埋進介於頂端的金屬閘,以及傳統的MOSFET(簡稱「金氧半場效電晶體」)通道間的氧化層內。這片神奇的金屬片,就是「浮動閘極」(Floating Gate, FG),作為電荷儲存層,由於被絕緣體所環繞,電荷洩漏極小,因此成為理想的記憶體元件。

施敏與姜大元進一步透過實作,開發出第一個「浮閘記憶體」的結構,而且量測結果與理論分析一致,儲存時間可以超過一小時。這篇具有時代意義的研究論文,發表於貝爾實驗室1967年的技術期刊(Bell system Technical Journal)。當時他們二人完全沒有想到,原本只是想取代磁心記憶體的這項研究,如今竟廣泛應用於各種電子產品,從最早1983年任天堂用於遊戲機,1990年數位手機、2007年智慧型手機、2009年汽車先進駕駛輔助系統、到2020年的先進人工智慧系統,如今各種應用可說無處不在。

李義明說,施敏院士開始寫第四版《Physics of Semiconductor Devices》新書時,已經80歲左右,但他思緒清晰、反應敏捷,有如年輕國手一般。他形容兩人合作寫書的過程,彷彿越洋打著乒乓球。

通常,李義明早上準備好資料,透過許如敏秘書,寄出UPS國際快捷到美國給施敏院士。隨後大概僅隔一天,施敏院士就會透過傳真機,將他的手稿傳回給許小姐。許小姐很快將其掃描成電子檔後,隨即傳送給李義明教授。

圖說:國立陽明交大電機系教授李義明於2024年3月21日的追思研討會上,分享他與施敏院士一起寫書的難忘回憶。

施敏院士知道李義明每天都很早到校,因此,通常一早就從美國打來電話,「我們大約八點就通完電話了,最晚不會超過九點。」李義明說,施敏院士認為文書往來透過合作多年的許秘書居中協助,可以有很好的管理,同時也讓李義明更專注於寫作。

李義明推崇施敏院士,對於半導體元件的發展,具有前瞻的預測眼光與先見之明。李義明是施敏院士指導的博士生,2001年自交通大學畢業後,隨即加入國家奈米元件實驗室(NDL),即如今的台灣半導體研究中心(TSRI)。當時施敏擔任NDL主任,李義明和學長,如今陽明交大副研發長劉柏村,都成為施敏的部屬。

2003年11月,媒體報導施敏院士宣布的好消息,「NDL獨步全球,開發出5奈米電晶體」。這是李義明在施敏支持下,從2002年底開始,與台積電共同研發專案的成果。由NDL和交大負責設計與模擬,接著交給台積電負責製造與量測。隨後,2004年6月,台積電在NDL支持下,於IEEE的VLSI Technology年度技術論壇上,領先發表了 5奈米的研究成果。

「事實上,5奈米才剛做出來,施敏院士就已經把眼光放在1奈米了。」2003年底,有一天施敏院士找來李義明,問他說,「你要不要試試看,1奈米可不可以做?」幾個月後,李義明向施敏院士報告說,「主任,我這個 1奈米做出來了!」施敏院士得知後很是高興,直說「非常好!」那一年,是2004年。

李義明說,施敏院士對技術趨勢的預測,具有異常獨到的功力。他預言之神準,也在陽明交大為施敏院士舉行紀念研討會的前兩天得到印證。Nvidia創辦人黃仁勳於2024年3月19日這天公開表示,該公司採用台積電4奈米製程,做出整合了「2,080億顆電晶體」的人工智慧晶片。這顆取名Blackwell 的GPU B200,被稱為是Nvidia的殺手級AI平台,運算性能是前一代產品Hopper的2.5倍數。

李義明說,施敏院士在新書的第六章,一開始就以圖表勾勒出一條曲線,說明電晶體數量的整合趨勢,這個圖表預估2024年晶片的整合度將達一、兩千億顆電晶體附近。

施敏院士的神預測,可說完全命中趨勢!!

第六章,還有另一個重要圖表,從2020年半導體製程技術大約在10奈米附近,展望到2030年時,會不會碰到1奈米呢?從圖表上看,施敏院士認為,將會在2奈米、1奈米之間徘徊。

旺宏電子總經理盧志遠博士以Critical這個字,描述施敏院士做研究的態度,形容他嚴謹到近乎挑剔,李義明對此也深有同感。

不過,李義明也認為,正因為施敏院士這樣的態度,才能讓《Physics of Semiconductor Devices》第四版新書上市後,獲得Amazon網站高度評價,推崇這本書廣受讀者好評,是介紹半導體元件最全面、最詳細的專業參考書籍。李義明表示,他注意到讀者幾乎都給了五顆星的評價,只有一位給四顆星,原因是他買到的書,有好幾頁黏在一起了。本文截稿前夕,這本書被引用的次數已超過七萬次,持續在工程領域受到關注。

施敏院士寫書有多嚴謹呢?李義明舉了幾個例子。

首先,是在內容品質之外,施敏院士對篇幅的規範也很注意。以新書第六章為例,施敏院士除了仔細審查每一份手稿,並給出建議與修正意見外,更會與過去第三版的內容詳加比較,細數改了幾個方程式、增加了幾幅圖表及參考引述等。此外,更針對第六章及全新的第七章,特別提醒李義明,不要忘了整本書的篇幅,要控制在900頁以內。

李義明記得施敏院士對他說,「整本書有十四章,你第六章已經用掉100多頁,所以還是要把頁數砍回來。」李義明說,「就這樣,每寫完一個章節,我們就來來回回作修訂。」

其次,針對精準用字,李義明也舉了一個例子,就是「發明 Invent」與「發現 Discover 」。施敏院士要他將新書第五章及第七章,原來介紹電晶體及浮閘記憶體的「發明 Invent」,全都改為「發現 Discover 」。

回顧1967年施敏院士與姜大元博士,在美國貝爾實驗室研發出浮閘記憶體(FGM, Floating Gate Memory),開啟了數位時代,對人類福祉做出重大貢獻,近年更不斷被提名參選諾貝爾獎。據了解,曾有諾貝爾獎的評審提出不同意見,認為「必須是無中生有,才能叫做發明」。

於是,第四版新書中,施敏院士吩咐李義明同時將研發出電晶體的三人,威廉蕭克立(William B. Shockley)、約翰巴定(John Bardeen)和沃爾特布拉頓(Walter H. Brattain),以及研發出浮閘記憶體的施敏(Simon Sze)和姜大元(Dawon Kahng),全都改成「發現」。

第三點,李義明表示,施敏院士非常重視報導的正確性,並且「特別注意錯字」。在整本書完稿後,他要求李義明和第三版的共同作者伍國珏,從頭到尾,將整本書再仔細看過一遍,務必把錯字都挑出來。此外,對於網路上介紹浮閘記憶體發展的文章,只要發現報導不正確的,就請李義明一一聯絡對方改正。李義明引述施敏院士的話:「因為快閃記憶體(Flash Memory)為現今最重要半導體元件之一, 所以對其歷史應有正確的報導。」

「施老師,是一位超暖心的人。」

李義明表示,自2020年2月交稿給出版社後,受到疫情影響,這本書經過一年時間,才終於有了出版的眉目。2021年他向施敏院士報告,已經收到美國Wiley出版社寄來的印刷樣書,很快地,施敏院士就迫不及待以傳真通知李義明:「希望今年收到出版社免費贈與作者的15本書, 另外,我已於2月19日向出版社加訂購了15本,讓他們寄給你。」

2021年3月8日,離上封傳真才不過隔了十二天, 施敏院士再次來信,詢問李義明書籍是否順利寄達,並給了第一批贈閱對象名單。之後,陸續又給了第二批、第三批名單。

圖說:2019年,施敏院士和李義明教授,在美國舊金山參加 IEDM年會的開心合照,隔年2020年春天,第四版新書隨即完成定稿。(圖/李義明提供)

「施老師走了,但他的身影永留心中。」李義明演講最後,秀出一張2019年他與施敏院士的珍貴合照。這一天,施敏院士約他到美國一起參加IEDM研討會,兩人共度了愉快時光。照片中,施敏院士和李義明師生兩人,一起走路準備去吃午飯,感覺有說有笑。

追思施敏院士(1)施敏:矽文明先知

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