筒狀濾芯,精度40奈米
- 2009.11.11
- 撰稿:王麗娟 Janet Wang攝影:李慧臻 Jane Lee美商戈爾公司(Gore),針對半導體製程,高性能筒狀濾芯產品線又添新成員。該公司新推出的40nm級濾芯用於濕式製程和供應系統中的化學品,過濾精度達到40 nm。 該公司市場開發總監Mark deGarbolewski 表示, GORE濾芯有助於半導體製造提升性能並降低生產成本。GORE®濾芯的筒式設計既提升了過濾精度性能、降低了顆粒數量,同時還可以保持所需通量,實現更短的處理時間、更高的通量和更快的槽液周轉率。在2009年七月間於美國舉行的半導體設備暨材料展(SEMICON West 2009)上,還獲得最佳產品獎的提名。 GORE濾芯採用了戈爾自主研發的高通量膨體聚四氟乙烯(ePTFE)過濾薄膜。該公司是膨體聚四氟乙烯(ePTFE)的發明者,也是聚四氟乙烯(PTFE)工程材料的全球技術領導者。該公司的篩檢程式技術,在全球半導體、電子、高純化學和制藥行業的最佳性能濾芯中有數十年的應用經驗。圖說:美商戈爾公司(Gore)半導體筒狀濾芯產品線添新成員,過濾精度達到40 nm。 本文刊登【研發工程師的知識平台】-- COMPOTECH ASIA 雜誌