知錯還不夠、缺陷分類才夠酷

圖說:美商科磊推出新款LED晶圓檢測設備,強調具有缺陷分類的能力。

美商科磊(KLA-Tencor)推出新款發光二極體(LED)晶圓檢測設備,特別強調效率靈活及成本效益。

ICOS WI-2280是KLA-Tencor以領先市場的WI-22xx系統平台為基礎,最新開發出的新一代LED晶圓檢測系統。這個系統增強了檢測能力及具有更大的靈敏度和吞吐量,有效降低投資成本。兩大功能讓該系統顯得出色,其一是獨家配方的檢驗合格引擎,其二是晶圓缺陷分類,因此得以讓製造者快速提升良率並有效提升製程控制和監測能力。

在彈性方面,該系統除了做為LED晶圓檢測之外,也提供微機電(MEMS)及半導體晶圓加強檢測的能力,晶圓尺寸可以從2吋到8吋。

KLA副總裁Jeff Donnelly說「越來越多的製造商要求改善檢測及將產品缺陷分級處理的能力,讓製造過程很快有修正動作,以提高檢測的能力,這也正是製造過程中對於有修正處方的需求一直成長中。ICOS WI-2280系統就是針對這個關鍵市場的需求而開發。目標希望讓LED製造商,能擁有功能更好的檢測設備,讓所投入的每一塊錢及每一瓦電都得到最好的「流明lumen」。

ICOS WI-2280具突破性的功能包括;

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