朝18吋前進!歐洲發表450mm白皮書

圖說:ASM歐洲合作計畫總監Bas van Nooten,在ISS Europe 2012為與會者介紹450mm白皮書內容。

2012歐洲產業策略論壇(ISS Europe 2012),於2月26~28日在德國慕尼黑舉行,會中最重要的關鍵詞有三:「450mm白皮書」、「歐洲優勢」,以及「軟性電子」。「450mm白皮書」的公布,是ISS Europe 2012的第一個亮點。

由「歐洲設備及材料供應商450mm推動聯盟」(EEMI 450, European Equipment and Materials 450mm Initiative)發表的這份白皮書,題為”The Move to the next Silicon Wafer Size” ,重點在凝聚歐洲設備材料商開發450mm(18吋)製程設備與材料的共識,同時也被視為是對全球半導體晶圓廠客戶的宣誓。

半導體製程技術不斷進步,設備扮演著重要角色。沒有改變的是,驅動每一代晶圓面積加大的動力,就是成本效益。未來,半導體晶圓面積從目前300mm(12吋)往450mm(18吋)邁進,設備及材料商必須能夠具體呈現晶圓面積加大的成本效益,才能為產業的競爭力加分,同時也為設備與材料商帶來新商機。


圖說:SEMI 歐洲區總裁Heinz Kundert大力呼籲投入450mm的重要性。他在EEMI 450向政府遞交白皮書時,也共同出席。

主辦單位SEMI邀集重量級半導體廠商擔任主講者,包括ARM, Infineon, Intel, GLOBALFOUNDRIES, STMicroelectronics , TI 等晶圓廠, IC及IP公司,ASML, ASM以及微影光源業者XTREME等設備材料廠商,此外,還有研究機構IC Insights, IMEC 及創投公司,吸引超過200名歐洲半導體產業高階主管出席。

ASM歐洲合作計畫總監Bas van Nooten指出,EEMI 450從2009年就開始投入450mm設備與材料的研究。

白皮書中指出,不斷加大晶圓面積,原因在於實踐摩爾定律,同時達到功能更強、耗能更省,以及成本更低等多重目標。根據SEMI歷年來晶片出貨紀錄顯示,從1993年以來晶圓出貨量的複合成長率為7.6%,亦即不到10年,各種IC的出貨量就增加一倍。

因應這樣的需求,過去半導體產業在晶圓面積上,大約每10年就要推進一代。從1950~1960年代的2吋、1970年代的3~4吋、1980年代的5~6吋、1990年代的8吋,到2000年代的12吋,下一代則是直徑18吋(450mm)的時代。

在美國,「全球450聯盟」(G450C, The Global 450 Consortium)去(2011)年10月已經明白宣告,將在未來幾年交出具體成績,包括為位於紐約奧爾巴尼(Albany, NY)的試產線,裝上50種450mm的製程設備,並在2013及2014年下半年展示10奈米級的成果。

不讓美國專美於前,EEMI 450這份白皮書展現了歐洲設備及材料供應商對投入450mm的決心。白皮書鄭重呼籲,所有的設備材料供應商及所屬財團與銀行資金體系,都該做好充分準備,以迎接本世紀下半,2015年起,450mm設備材料需求量衝高的時機。

強調歐洲優勢,可說是歐洲半導體業界對歐洲政府的大聲疾呼,希望政府不僅支持基礎研究,對於產攸關業界集體利益的研發聯盟,也要多多支持。

此外,看好軟性電子產業的應用市場逐漸成形,SEMI整併了軟電基金會的展覽與研討會業務,今年10月,SEMICON Europa就可以看到相關的研討議題與展出。

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