電子束檢測系統 高解析1奈米

圖說:應用材料公司新一代電子束檢測系統PROVision

應用材料公司宣稱推出業界最先進的電子束檢測機台,提供1奈米解析度的電子束熱點檢測,能幫助客戶檢測出其他技術找不到的最高難度「致命性」缺陷,並監控製程的極限,以快速解決產量拉升問題,達成更高的良率。

10奈米及以下的多重曝光、FinFET製程、DRAM 與 3D NAND 元件,更是研發、加速量產與生產控制的關鍵,該系統可針對最具挑戰性的電子束應用,提供最多快上三倍的生產力。目前客戶快速採用,出貨量已達十幾台,並且包含重複訂單;開發團隊擁有超過 20年的電子束領域領導地位,已售 2,200 台電子束量測與缺陷檢視系統。應用材料公司宣布,該公司的新一代電子束檢測系統,提供了最高的解析度與影像品質,能夠讓頂尖的晶圓代工、邏輯產品、DRAM 和 3D NAND 客戶,在邁入先進製程時,達成最快速的生產力。

應用材料公司副總裁暨影像與製程控制事業部總經理鮑伯‧普爾瑪特 (Bob Perlmutter) 表示:「PROVision 系統是我們領導電子束產品組合的最新生力軍,也是應用材料公司成長策略不可或缺的關鍵。我們的差異化電子束量測與缺陷檢測技術是業界最佳技術,在搭配客戶的新檢測方法使用時,可讓 PROVision 系統不只用於研發精進,也能應用於生產環境。」

PROVision 系統的銷售動能漸增,出貨量已經超過十多台,包括來自龍頭晶圓代工廠與記憶體製造商的重複訂單。在 2016 年下半年,已另外排定出貨到現有及新增的客戶端。

SK 海力士 (SK hynix) 研發電子束檢測事業部權五長 (Oh-Jang Kwon) 博士表示:「PROVision 系統獨特的高解析度與大量取樣功能,有助於我們的先進製程的研發,縮短解決方案與上市的時間。」

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