檢測高速全自動 提升晶圓良率
圖說:國研院儀科中心透過「光學系統整合研發聯盟」平台,結合巨積精密與師大機電系,成功研發「晶圓電性測試暨電路瑕疵檢測設備」。左起師大機電系教授張天立、儀科中心博士曾釋鋒、巨積精密總經理吳茂祥、儀科中心鍾健愷及巨積精密工程師吳博睿。■文:Wa-People/陳文玲Evelyn Chen■圖:Wa-People/編輯中心隨著消費性電子產品需求快速增長,對於IC精密檢測的需求亦不斷提高,推動了自動化檢測設備的市場發展。國家實驗研究院儀器科技研究中心(以下簡稱「儀科中心」)透過「光學系統整合研發聯盟」平台,結合巨積精密與師範大學機電工程系教授張天立研究團隊,共同研發「晶圓電性測試暨電路瑕疵檢測設備」,可協助國內廠商於半導體後段製程中快速精準判斷與篩選晶圓良窳。




