省電幫浦與CMP研磨 EBARA持續創新

圖說:EBARA精密機器事業部營業部主任鄭政宏(右)與產業人物主筆王麗娟

圖說:EBARA精密機器事業部營業部主任鄭政宏(右)與產業人物主筆王麗娟

半導體產業,是一場上天下地的全面性競爭。廠內採用的幫浦省電節能省成本,不但是技術較勁,更是競爭力的輸贏。此外,進入10奈米以下的CMP製程,也有新挑戰。跟著主筆王麗娟,來到2019 Semicon秀採訪EBARA精密機器事業部營業部主任鄭政宏,以及裝置事業部經理林志明,談談EBARA今年的創新。

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