薄到透光 研磨拋光迎接新商機

圖說:創技工業(SPEEDFAM)副理鄧立夫(左)與產業人物主筆王麗娟

圖說:創技工業(SPEEDFAM)副理鄧立夫(左)與產業人物主筆王麗娟

研磨拋光是3D IC、感測器及LCD顯示器的關鍵製程。1979年成立的創技工業(SPEEDFAM),持續四十年開發研磨拋光技術。跟著主筆王麗娟,來到2019 Semicon秀採訪該公司副理鄧立夫,看見薄到15微米的半透光晶圓,以及60微米的藍寶石。

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