光學系統整合研發聯盟 研發成果豐

圖說:國研院儀科中心主任楊燿州 (左)與台灣大學特聘教授陳亮嘉

圖說:國研院儀科中心主任楊燿州 (左)與台灣大學特聘教授陳亮嘉

國家實驗研究院儀器科技研究中心(儀科中心)12/8日假苗栗西湖渡假村舉辦「光學系統整合研發聯盟2018交流研討會」暨「國研院儀科中心技術服務推廣說明會」,來自北中南各大專院校的教授,以及涵蓋晶圓代工龍頭、精密光學製造、真空鍍膜以及半導體設備等廠商齊聚一堂進行深入交流。

國研院儀科中心秉持著「支援前瞻研究、服務學術創新」的重要使命,是國內唯一可協助學術界理工醫農各領域開發前瞻研究所需客製化特殊儀器設備的單位,與各大學建立深厚的合作關係,提供儀器設備的研發合作或委託服務,積極鏈結學術能量,加速技術創新,打造儀器設備自研自製的築夢平台,培育國內下一世代之產業人才。

由台灣大學特聘教授陳亮嘉與機械系研究團隊所研發建置的「晶圓檢測精密量測平台與關鍵光學量測探頭模組」成果豐碩,目標為運用於晶圓生產前段製程之精密量測或瑕疵檢測工程,未來可整合國內廠商所研發之電子束掃描探頭模組,開發晶圓N10新顯影製程計畫之缺陷檢測關鍵技術與設備。國研院儀科中心承接此精密定位平台的「關鍵三軸平面參考面鏡」(reference mirror)之製作,此「平面參考面鏡」之功能為提供雷射干涉所需之參考平面,其平坦度要求會依據定位系統所需之精度等級而有所差異,且須使用加工困難度高的低膨脹係數材質製成,以確保定位平台的穩定性。陳亮嘉教授團隊研發的「晶圓檢測精密量測平台」,結合儀科中心的工程設計實現與服務能量,實踐其創新構想,為學研合作的卓越案例。

國研院儀科中心累積40多年真空技術及光學設計與鏡片製作經驗,並突破大口徑非球面鏡技術瓶頸,為國內唯一能製作太空遙測衛星鏡片之研發單位。除持續支持國內太空科技所需之高階光學鏡片與遙測鏡頭開發,同時亦將此技術能量支援前瞻研究及服務學術創新,鏈結學研界能量,協助國內產業技術再升級。


圖說:晶圓檢測精密量測平台上的平面參考面鏡(台灣大學特聘教授陳亮嘉提供)




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